半導体製造装置に使用される精密加工部品｜岳石電気

TOP > 製品事例 > 半導体関連

semiconductor 半導体関連

電子機器や液晶、半導体などの工業分野でタングステンやモリブデンが持つさまざまな性質は、欠かせないものとなっています。半導体を製造する装置、陰極フィラメントやＸ線管用陽極などとして利用されています。

半導体関連

半導体製造装置

タングステンやモリブデンは耐熱性、耐腐食性に優れており、半導体製造プロセスで欠かせません。エッヂング装置やスパッタリング用ターゲット、露光光源の部品として使用されています。

半導体製造装置

イオン注入器

高エネルギーのイオンを発生させるために、加速電極としてタングステンが使用されることがあります。タングステンはイオン注入器内部で発生するプラズマに対しても化学的に安定であるため、長期間の使用にも耐えることができます。

イオン注入器

この分野で使われている岳石製品の一例

石英ガラス　長角板

石英ガラスは二酸化ケイ素（SiO2）を主成分としており、通常のガラスよりも高い純度で製造されたガラスです。耐熱性・耐酸性に優れ、光透過性が高いこと等から半導体製造工程や光学、エネルギーなど幅広い分野で使用されています。
こちらは半導体製造の後工程で使用される装置の部品で、両面鏡面加工を施しています。
タングステンロープ　先端溶融

タングステンφ0.05の撚線ロープの溶断、溶融
モリブデン　精密穴加工

半導体装置、イオン注入装置、光学系部品等で使用されます。
モリブデン　スリット

半導体装置、イオン注入装置、大型炉の部品等で使用されます。当社では材料調達から対応致します。
モリブデン　マシニング加工

t12mmのモリブ板の段加工にM8のタップ加工。半導体装置、イオン注入装置、大型炉の部品等で使用されます。当社では材料調達から対応致します。
タングステン重合金　複合加工

半導体装置、イオン注入装置、大型炉の部品等で使用されます。当社では材料調達から対応致します。
電子銃フィラメント

フィラメント製造から電子銃のベースの組立てまで一貫して承っています。
撚り線バスケットコイル

撚り線にする事によって、流せる電流が大きくでき、強度も上がります。
マグネトロンコイル

ヒーター用の極太コイル。
マグネトロンやヒーターに使用されています。